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所谓真空,是指在给定的空间内,压力低于101325Pa的气体状态。在真空状态下,气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示,显然,该压力值越小则表示气体越稀薄。工业上有各种各样的真空泵,对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验,主要参数有:

1、极限真空(通常称为真空度):将真空泵与检测容器相连,放入待测的气体后,进行长时间连续抽气,当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时,此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。
普通真空表测得的真空值(即:表压)为相对真空度,用负数表示,是指被测气体压力与大气压的差值。可以由下图看出。

2、抽气速率:在真空泵的吸气口处,单位时间内流过的气体体积。

传统工业用真空泵体积普遍很大,而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油,介质气体内会含有大量油雾。随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求,各国的微型无油真空泵应运而生,普遍有以下规律:泵的价格和真空度指标密切相关。真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标,它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力,也是生产商获取利润的重要手段。要提高真空度指标,就必须有更高的密封条件,因此就需要采用尺寸更精确、材料性能更优异的零部件,于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然,抽气速率的提高也会引起价格的攀升,但其增幅不大。因此,选择微型真空泵时需要认真考虑真空度指标、抽气速率指标、自己的使用情况等,这样才能最好地兼顾使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件,因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。
振动和噪音。泵的抽气速率和真空度越高,振动和噪音也越大。

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